[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620638799.1 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205774774U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 彭锐;孙力;许凯;王欣欣;叶志杰;万想 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀坩埚、蒸镀防沸板和顶盖，所述蒸镀坩埚上设置有所述蒸镀防沸板；所述蒸镀防沸板和顶盖之间设置有蒸镀腔室；所述蒸镀腔室连接有与所述蒸镀腔室连通的可拆卸的冷却室；还包括设置在所述冷却室和所述蒸镀腔室之间的隔板，用于导通或分隔所述蒸镀腔室和冷却室。该蒸镀装置一方面，该装置阻止了高温对剩余蒸镀材料的反复作用而产生的裂解，以使剩余蒸镀材料可以再利用；另一方面，该装置的冷却室可拆卸，方便对冷却室进行清洗；此外，相比于具有较大体积的内腔室的蒸镀装置，本实施例中提供的蒸镀装置中的蒸镀腔室可使得蒸镀过程中气体更快达到蒸汽压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，包括：蒸镀坩埚、蒸镀防沸板和顶盖，其特征在于，所述蒸镀坩埚上设置有所述蒸镀防沸板；所述蒸镀防沸板和顶盖之间设置有蒸镀腔室；所述蒸镀腔室连接有与所述蒸镀腔室连通的可拆卸的冷却室；还包括设置在所述冷却室和所述蒸镀腔室之间的隔板，用于导通或分隔所述蒸镀腔室和冷却室。
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