[实用新型]一种加热源装置有效
| 申请号： | 201620639697.1 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN205803579U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 彭锐;贾文斌;高昕伟;万想;许凯;黄磊 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种加热源装置，涉及薄膜蒸镀技术领域，用于解决蒸镀材料受热不均所引起的蒸镀速率不稳定、蒸镀材料裂解变性的问题，提高蒸镀薄膜的质量。所述加热源装置包括：加热源，安装在加热源的侧壁上的至少一个喷嘴，及套设于加热源外部的外筒；其中加热源为筒状，且加热源能够绕其自身的中心轴旋转；外筒上设有至少一个通孔，在需要进行蒸镀时，加热源相对于外筒旋转，使至少一个喷嘴与至少一个通孔的位置一一对应的重合。所述加热源装置用于进行薄膜的蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热源 装置 | ||
【主权项】：
一种加热源装置，包括加热源和安装在所述加热源的侧壁上的至少一个喷嘴，其特征在于，所述加热源为筒状，且所述加热源能够绕其自身的中心轴旋转；所述加热源装置还包括套设于所述加热源外部的外筒，所述外筒上设有至少一个通孔，在需要进行蒸镀时，所述加热源相对于所述外筒旋转，使至少一个喷嘴与至少一个通孔的位置一一对应的重合。
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