[实用新型]一种真空密封件分压漏率测量装置

摘要

本实用新型公开了一种真空密封件分压漏率测量装置，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、第一截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、第一抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、第二抽气泵组(12)、第二截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)。

主权项

一种真空密封件分压漏率测量装置，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率，该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、第一截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、第一抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、第二抽气泵组(12)、第二截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)，其中，第一真空规(1)和质谱计(2)分别与真空室(5)直接相连，标准漏孔(3)通过第一截止阀(4)与真空室(5)相连，第一抽气泵组(9)通过插板阀(6)或通过角阀(7)、限流小孔(8)与真空室(5)相连通，真空室(5)内放置真空密封件(15)，真空密封件(15)通过电磁阀(11)与第二抽气泵组(12)连接、通过第二截止阀(13)与气瓶(14)连接，第二真空规(10)连接在真空密封件(15)的充气管路上。