[实用新型]一种二次电子特性参数检测装置

摘要

本实用新型公开了一种二次电子特性参数检测装置，包括真空泵和电子检测装置，所述真空泵的上表面固定安装有真空室和电子枪，在真空室的正面还固定安装有调制电源，所述真空泵的左端固定安装有检测器，真空泵的两侧还固定安装有可编程控制器和温控电路，且可编程控制器位于温控电路的上方，在温控电路的下端设置有绝缘转轴，且绝缘转轴的一端穿过绝缘层的内部与设置在绝缘层底部的传感器固定连接；所述电子检测装置固定连接在真空泵的右端，在电子检测装置的表面固定安装有一次电子检测器和二次电子检测器，且在一次电子检测器和二次电子检测器的上表面分别安装有一次前置放大器和二次前置放大器，在二次电子检测器的右端还设置有数据核对模块。

主权项

一种二次电子特性参数检测装置，包括真空泵(1)和电子检测装置(16)，所述真空泵(1)的上表面固定安装有真空室(2)和电子枪(3)，且电子枪(3)设置在真空室(2)的右端，在真空室(2)的正面还固定安装有调制电源(4)，其特征在于：所述真空泵(1)的左端固定安装有检测器(6)，真空泵(1)的两侧还固定安装有可编程控制器(7)和温控电路(8)，且可编程控制器(7)位于温控电路(8)的上方，在温控电路(8)的下端设置有绝缘转轴(9)，且绝缘转轴(9)的一端穿过绝缘层(17)的内部与设置在绝缘层(17)底部的传感器(10)固定连接；所述电子检测装置(16)通过安装在其内侧的转动块固定连接在真空泵(1)的右端，在电子检测装置(16)的表面固定安装有一次电子检测器(11)和二次电子检测器(12)，且在一次电子检测器(11)和二次电子检测器(12)的上表面分别安装有一次前置放大器(14)和二次前置放大器(15)，在二次电子检测器(12)的右端还设置有数据核对模块(13)。