[实用新型]高温扩散板舟有效
| 申请号： | 201620641887.7 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205917345U | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;李运金;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 225008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 高温扩散板舟。涉及半导体加工领域，尤其涉及高温扩散板舟。提供了一种结构简单，提高产品性能一致性的高温扩散板舟。所述限位单元是所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；所述板状舟体在横向上设有若干均布设置的限位单元，所述板状舟体在横向上的两侧边相对设置、且向各自的外侧倾斜，使得板状舟体的截面呈上大下小的梯形。所述限位单元内设有通孔，所述通孔与硅片的中心线一致，所述通孔的孔径为硅片直径的1/2‑9/10。本实用新型提升了产能，提高了产品性能和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 扩散 | ||
【主权项】：
高温扩散板舟，包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；其特征在于，所述板状舟体在横向上设有若干均布设置的限位单元，所述板状舟体在横向上的两侧边相对设置、且向各自的外侧倾斜，使得板状舟体的截面呈上大下小的梯形；所述限位单元内设有通孔，所述通孔与硅片的中心线一致，所述通孔的孔径为硅片直径的1/2‑9/10。
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