[实用新型]基板固定装置及工艺腔室有效
| 申请号： | 201620642333.9 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205741201U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张杨 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基板固定装置，包括驱动机构、切换机构和固定机构；驱动机构与切换机构连接，用于驱动切换机构转动；固定机构包括连接件及多个固定单元；多个固定单元分散安装在连接件上；连接件安装在切换机构上，并能够随切换机构的转动而旋转；其中，当连接件随切换机构的转动而旋转预设角度时，多个固定单元中的一个固定单元能够与放置在工艺腔室中的基板的边缘卡接。其通过由驱动机构驱动切换机构转动来带动固定机构中的连接件旋转，通过连接件的旋转将固定单元移动至基板的边缘位置处即可实现固定单元的更换，不需要打开工艺腔室，从而减少了工艺腔室的开腔次数，有效解决了传统的基板固定装置导致生产效率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 装置 工艺 | ||
【主权项】：
一种基板固定装置，其特征在于，包括驱动机构、切换机构和固定机构；所述驱动机构与所述切换机构连接，用于驱动所述切换机构转动；所述固定机构包括连接件及多个固定单元；多个所述固定单元分散安装在所述连接件上；所述连接件安装在所述切换机构上，并能够随所述切换机构的转动而旋转；其中，当所述连接件随所述切换机构的转动而旋转预设角度时，多个所述固定单元中的一个所述固定单元能够与放置在工艺腔室中的基板的边缘卡接。
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