[实用新型]氯硅烷残液回收装置有效
| 申请号： | 201620644150.0 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN205953543U | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610016 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成，表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通。本实用新型通过采用表面蒸发器和螺旋蒸发器两级蒸发器高温蒸发、回收氯硅烷气体的技术措施，从氯硅烷残液中回收多晶硅生产原料氯硅烷气体，实现了95%以上的高回收率，从而大大降低了多晶硅生产成本，既从作为废弃物的氯硅烷残液中回收了大量可贵的多晶硅生产原料，又解决了氯硅烷残液所造成的严重环境污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种氯硅烷残液回收装置，由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成，表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、数个残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口，螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口，表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通，其特征在于表面蒸发器的上部设置有一与电机转轴（9）紧密相连的残液环形分布器（6），该残液环形分布器为环形凹槽，各残液进口（2）的下部均从残液环形分布器（6）凹槽的正上方插入。
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