[实用新型]晶片显影装置有效
| 申请号： | 201620644981.8 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205750279U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王焕之;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 225008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 晶片显影装置。涉及一种显影装置，尤其涉及一种用于晶片生产的显影装置。提供了一种结构简单，显影效果好，安全性高的晶片显影装置。若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。所述密封盖上设有管道一，所述管道一上有阀门一，所述管道一通过三通与所述管道二、气泵的输出端相连通。本实用新型保证晶片相对静止，提高了显影效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 显影 装置 | ||
【主权项】：
晶片显影装置，包括显影槽和气泵，其特征在于，所述显影槽内设有若干隔板，所述隔板将显影槽隔断成若干隔舱，所述隔舱用于放置显影液；若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。
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