[实用新型]一种溅射靶材自循环冷却装置有效
| 申请号： | 201620646998.7 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN205741198U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武 | 申请（专利权）人： | 乔宪武 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于磁控溅射领域，针对靶材散热技术，特别涉及一种溅射靶材自循环冷却装置。该装置包括靶材和散热结构，靶材采用合成射流方法降温，靶材对接密封在金属阴极上端，合成射流发生器固定在合成射流腔体内部，产生间歇射流气体，射流气体由合成射流腔体储存，沿喷嘴喷出，喷出的射流气体冲击靶材内侧肋片达到降温作用，升温后的气体进入散热通道，经降温的气体重新回到合成射流腔体循环使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 循环 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材自循环冷却装置，包括靶材(1)和散热结构，其特征在于：靶材(1)采用合成射流方法降温，靶材(1)对接密封在金属阴极(7)上端，合成射流发生器(5)固定在合成射流腔体(4)内部，产生间歇射流气体，射流气体由合成射流腔体(4)储存，沿喷嘴(3)喷出，喷出的射流气体冲击靶材(1)内侧肋片(2)达到降温作用，升温后的气体进入散热通道(6)，经降温的气体重新回到合成射流腔体(4)循环使用。
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