[实用新型]基板支撑结构以及退火炉有效
| 申请号： | 201620650450.X | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN205803309U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 臧宇;林昶 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C03B25/00 | 分类号： | C03B25/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板支撑结构及退火炉，所述基板支撑结构包括：固定台以及若干用于支撑一基板的支撑件，所述支撑件固定于所述固定台上，所述支撑件包括球体以及容纳结构，所述容纳结构具有一上方开口的容纳空间，所述球体的底部放置于所述容纳空间内，所述球体在所述容纳空间内转动，所述球体的顶部从所述容纳空间的开口处高出所述容纳结构。在本实用新型的基板支撑结构可以避免对基板的背部造成划伤。本实用新型还公开一种包括上述基板支撑结构的退火炉，当基板在薄膜沉积或离子注入后进行退火工艺时，退火炉内的所述基板支撑结构用于撑起所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 结构 以及 退火炉 | ||
【主权项】：
一种基板支撑结构，其特征在于，包括固定台以及若干用于支撑一基板的支撑件，所述支撑件固定于所述固定台上，所述支撑件包括球体以及容纳结构，所述容纳结构具有一上方开口的容纳空间，所述球体的底部放置于所述容纳空间内，所述球体在所述容纳空间内转动，所述球体的顶部从所述容纳空间的开口处高出所述容纳结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620650450.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种玻璃生产中的冷却装置
- 下一篇：一种预应力玻璃均质炉
