[实用新型]管式PECVD石墨舟工艺点上料装置

摘要

本实用新型涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，工艺点移送装置设置在工艺点排布装置的正上方。本实用新型使用工艺点排布装置对工艺点按石墨舟上工艺孔的位置在安装板上进行一一对应排布，将排布好的工艺点通过工艺点移送装置输送到下一工序进行工艺点的安装，工艺点的全部输送工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。

主权项

一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于：包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，所述工艺点移送装置设置在所述工艺点排布装置的正上方，所述工艺点排布装置包括底座(1)、安装板(2)和振动料盘(3)，所述安装板(2)滑动安装在所述底座(1)上，所述安装板(2)通过移动装置驱动实现往复直线运动，两个所述振动料盘(3)分别位于所述移动装置的两侧，所述安装板(2)上开有若干与石墨舟(10)上的工艺孔相对应的盲孔(4)，两个所述振动料盘(3)的出料口(5)分别与所述安装板(2)同一端部的两个所述盲孔(4)同轴设置，所述工艺点移送装置包括吸盘(6)、驱动吸盘(6)升降的升降装置和驱动吸盘(6)移动的移动装置，所述吸盘(6)固定安装在所述升降装置上，所述升降装置滑动安装在所述移动装置上。