[实用新型]扫描磁场的离子镀阴极有效
| 申请号： | 201620652877.3 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN205856596U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海天协和诚知识产权代理事务所31216 | 代理人： | 蒋晏雯 |
| 地址： | 200082 上海市虹*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扫描磁场的离子镀阴极，它包括靶座、磁座、固定磁体、内部磁体、气体驱动系统、阴极和冷却水；所述靶座内的底部上设有气体驱动系统，气体驱动系统上设有磁座，内部磁体置于磁座的内部边缘，内部磁铁和磁座在气体驱动系统的作用下在气体驱动系统的内壁之间围绕靶座的纵向中心线做有规律的直线往返运动，固定磁体设于气体驱动系统和靶座之间并位于靶座顶部下方，阴极设于靶座上部，阴极底部和靶座顶部之间形成冷却水道。本实用新型可有效扩大靶材的刻蚀区域，提高靶材的利用率，并且刻蚀均匀，涂层质量好，大颗粒少。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 磁场 离子镀 阴极 | ||
【主权项】：
一种扫描磁场的离子镀阴极，其特征在于：它包括靶座、磁座、固定磁体、内部磁体、气体驱动系统、阴极和冷却水；所述靶座内的底部上设有气体驱动系统，气体驱动系统上设有磁座，内部磁体置于磁座的内部边缘，内部磁铁和磁座在气体驱动系统的作用下在气体驱动系统的内壁之间围绕靶座的纵向中心线做有规律的直线往返运动，固定磁体设于气体驱动系统和靶座之间并位于靶座顶部下方，阴极设于靶座上部，阴极底部和靶座顶部之间形成冷却水道。
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