[实用新型]一种芯片生产环境监测系统有效
| 申请号： | 201620654110.4 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN205809678U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 韩建球 | 申请（专利权）人： | 江苏友润微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G01D21/02;G08C17/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司32102 | 代理人： | 陈栋智 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了芯片生产领域内的一种芯片生产环境监测系统，包括：无线传感器网络节点、基站、系统控制中心以及设备控制系统，所述无线传感器网络节点经基站与系统控制中心相连，系统控制中心与设备控制系统相连，本实用新型通过使用无线传感器作为网络节点，用以监测生产间内的各项参数，保证了信号传输的稳定性，避免有线线路敷设的空间限制，同时，该系统结构简单，部署方便，维护方便，降低了成本，可用于芯片生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 生产 环境监测 系统 | ||
【主权项】：
一种芯片生产环境监测系统，其特征在于，包括：无线传感器网络节点，用以监测生产间内的温度数据、湿度数据、压差、光照强度，并通过建立的无线传感器网络经基站发送给系统控制中心；基站，负责网络的启动，并监控无线传感器网络节点的工作状态，发出用于建立网络的控制指令、转发无线传感器网络节点的数据；系统控制中心，用以接受来自无线传感器网络的监测数据，对其进行统计、处理和显示，并将数据反馈给设备控制系统；设备控制系统，通过控制设备调节生产间内的温度、湿度、压力以及光照强度；所述无线传感器网络节点经基站与系统控制中心相连，系统控制中心与设备控制系统相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏友润微电子有限公司，未经江苏友润微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620654110.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
