[实用新型]一种实用性强的无磁真空腔体有效
申请号: | 201620656431.8 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN205789896U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 孙艳朝 | 申请(专利权)人: | 营口希泰精密焊接科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 沈阳易通专利事务所21116 | 代理人: | 于丽丽 |
地址: | 115000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种实用性强的无磁真空腔体,包括真空腔体外壳和控制器,所述空腔体外壳的顶部安装有上盖,所述上盖的中心处安装有减压阀门,且上盖与真空泵通过抽气管连接,所述空腔体外壳的外表壁安装有不锈钢保护层,所述不锈钢保护层上安装有加热带,所述加热带的外表壁安装有铝箔隔热层,所述空腔体外壳的底部安装有压力传感器,所述真空腔体底座上安装有支撑架。本实用新型,通过该真空腔体上安装有加热带和铝箔隔热层,促使材料表面和内部的气体尽快放出,防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热;通过真空腔体外壳的底部安装有压力传感器,可以检测出腔体的内部压力大,并且将该压力信息反馈到显示屏幕上,方便使用者观察。 | ||
搜索关键词: | 一种 实用性 无磁真 空腔 | ||
【主权项】:
一种实用性强的无磁真空腔体,包括真空腔体外壳(1)和控制器(4),其特征在于:所述空腔体外壳(1)的顶部安装有上盖(6),所述上盖(6)的中心处安装有减压阀门(2),且上盖(6)与真空泵(5)通过抽气管(3)连接,所述空腔体外壳(1)的外表壁安装有不锈钢保护层(7),所述不锈钢保护层(7)上安装有加热带(8),所述加热带(8)的外表壁安装有铝箔隔热层(9),所述空腔体外壳(1)的底部安装有压力传感器(10),且空腔体外壳(1)的下方安装有真空腔体底座(11),所述真空腔体底座(11)上安装有支撑架(12)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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