[实用新型]一种蚀刻机之吸液机构

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻机之吸液机构，包括：吸液刀组、与所述吸液刀组依次连接的射流器和射流供液泵浦，所述吸液刀组包括复数个吸液刀，所述吸液刀包括吸液刀本体，所述吸液刀本体的底端面设置有多个吸液孔，所述吸液刀本体上还设置有一腔体，所述腔体的两端口分别与该些吸液孔以及所述射流器相连通，所述吸液刀本体的至少一侧面设置有一转轮，所述转轮的至少局部超出所述吸液刀本体的底端面，当该吸液机构的吸液孔在吸取药水时，所述转轮与基板的上板面接触，并在基板的上板面转动。本实用新型通过吸液机构可以及时的排除上板面的残留药水，避免水池效应，提高上板面蚀刻的均匀性，提高上板面线路蚀刻因子，提高整体的蚀刻速率。

主权项

一种蚀刻机之吸液机构，所述蚀刻机至少包括用于对基板喷洒药水的喷淋机构和为所述喷淋机构提供药水的药水槽，其特征在于，所述吸液机构用于吸取基板的上板面上的残留药水，其包括：吸液刀组、与所述吸液刀组依次连接的射流器和射流供液泵浦，其中，所述吸液刀组包括复数个沿水平方向依次排列的吸液刀，所述吸液刀包括吸液刀本体，所述吸液刀本体的底端面设置有多个吸液孔，所述吸液刀本体上还设置有一腔体，所述腔体的两端口分别与该些吸液孔以及所述射流器相连通，所述吸液刀本体的至少一侧面设置有一转轮，所述转轮的至少局部超出所述吸液刀本体的底端面，当该吸液机构的吸液孔在吸取药水时，所述转轮与基板的上板面接触，并在基板的上板面转动。