[实用新型]一种大容量负压氩气循环净化系统

摘要

本实用新型公开了一种大容量负压氩气循环净化系统，包括真空压力表，所述真空压力表安装在氩气循环净化机体上，所述氩气循环净化机体上设有真空处理室、氩气预处理室和净化室，且真空处理室的内部设有抽真控系统、缓冲罐和真空增压装置，所述真空处理室上设有标牌，所述氩气预处理室的内部设有氩气预处理系统和压缩机，所述净化室的内部设有净化循环系统。本实用新型的回收废氩气容量大，且废氩气输出压力低于一个大气压的情况下，快速回收，循环，通过净化系统，将氩气中杂质除掉，净化后的氩气满足工艺要求。且主要运行参数指标集成于仪控系统中，通过仪控系统监测、控制系统运行状态，实现整套系统自动化操作。

主权项

一种大容量负压氩气循环净化系统，包括真空压力表(1)，其特征在于：所述真空压力表(1)安装在氩气循环净化机体(23)上，所述氩气循环净化机体(23)上设有真空处理室(3)、氩气预处理室(6)和净化室(11)，且真空处理室(3)的内部设有抽真控系统(15)、缓冲罐(16)和真空增压装置(17)，所述真空处理室(3)上设有标牌(2)，所述氩气预处理室(6)的内部设有氩气预处理系统(18)和压缩机(19)，所述净化室(11)的内部设有净化循环系统(20)，且净化室(11)上设有PLC+触摸屏电控器(14)和净化提示器(13)，所述抽真控系统(15)、缓冲罐(16)、真空增压装置(17)、氩气预处理系统(18)、压缩机(19)和净化循环系统(20)均按顺序通过输气管连接，且净化循环系统(20)通过输出阀(22)与用气点(21)连接，所述氩气循环净化机体(23)的右侧设有总控制室(5)，且总控制室(5)上设有仪控系统显示屏(8)、总启动开关(10)、工作指示灯(9)和操作盘(7)，所述氩气循环净化机体(23)和仪控系统显示屏(8)均安装在万向自锁轮(4)的上方，且仪控系统显示屏(8)的输出端与氩气循环净化机体(23)的输入端电性连接。