[实用新型]高温电子束加热样品台

摘要

本实用新型涉及真空蒸镀设备技术领域，尤其是一种高温电子束加热样品台。现有用于电子束蒸发加热的样品台结构简单，功能单一，只是起到架起待加工样品的作用，不能随意调节台面范围，也没有配套的防护装置保护待加工样品不从台面掉落，一定程度上影响了样品台工作效率。该高温电子束加热样品台包括样品台主体，样品台主体外围设有至少两层伸缩台圈，伸缩台圈内壁设有凹槽圈，伸缩台圈外围设有滑轨，滑轨上设有挡圈，凹槽圈设在伸缩台圈顶端内侧。改进后的高温电子束加热样品台结构简单，操作方便，工作稳定可靠，三层伸缩台圈能根据使用需求轻松调节，挡圈能有效防止样品掉落，有效提高设备工作效率。

主权项

一种高温电子束加热样品台，包括样品台主体（1），其特征是，所述样品台主体（1）外围设有至少两层伸缩台圈（2），所述伸缩台圈（2）内壁设有凹槽圈（3），所述伸缩台圈（2）外围设有滑轨（4），滑轨（4）上设有挡圈（5）。