[实用新型]一种石英坩埚的硅料装填模型有效
| 申请号： | 201620664479.3 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205803630U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 杨洪涛;王东;李永峰;张鹏;闫广宁 | 申请（专利权）人： | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英坩埚的硅料装填模型。其包括模型定位部和硅料定位部；所述的模型定位部是一个圆管，圆管的内径d为所述的石英坩埚的外径D，圆管的内管壁与所述的石英坩埚的外埚壁形成间隙配合，圆管的高度h为所述的石英坩埚的高度H；所述的硅料定位部是一个圆锥管沿其轴面切去一半所剩的半圆椎管的形状，硅料定位部位于模型定位部的上方，并且所述的圆管和半圆锥管同轴；硅料定位部的下部与模型定位部的上部通过水平台连接，水平台的宽度δ为所述的石英坩埚的壁厚Δ；在硅料定位部的顶部还设置有平盖。本实用新型能够避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 装填 模型 | ||
【主权项】：
一种石英坩埚的硅料装填模型，其特征在于：包括模型定位部(1)和硅料定位部(2)；所述的模型定位部(1)是一个圆管，圆管的内径d为所述的石英坩埚的外径D，圆管的内管壁与所述的石英坩埚的外埚壁形成间隙配合，圆管的高度h为所述的石英坩埚的高度H；所述的硅料定位部(2)是一个圆锥管沿其轴面切去一半所剩的半圆椎管的形状，硅料定位部(2)位于模型定位部(1)的上方，并且所述的圆管和半圆锥管同轴；硅料定位部(2)的下部与模型定位部(1)的上部通过水平台(3)连接，水平台(3)的宽度δ为所述的石英坩埚的壁厚Δ；硅料定位部(2)的内壁位置对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大范围，硅料定位部(2)的高度对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大高度；在硅料定位部(2)的顶部还设置有平盖(5)。
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