[实用新型]一种石英埚的硅料装填胎具有效
申请号: | 201620665885.1 | 申请日: | 2016-06-29 |
公开(公告)号: | CN205803632U | 公开(公告)日: | 2016-12-14 |
发明(设计)人: | 孙须良;张鹏;张浩强 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石英埚的硅料装填胎具。其包括圆管部和圆锥管部,圆锥管部位于圆管部的上方,并且圆管部和圆锥管部同轴;圆管部的内径d为所述的石英埚的外径D,并且圆管部的内管壁与所述的石英埚的外埚壁形成间隙配合,圆管部的高度h为所述的石英埚的高度H;圆锥管部的下部与圆管部的上部通过水平台连接,水平台的宽度δ为所述的石英埚的壁厚Δ;圆锥管部的内壁位置对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大范围,圆锥管部的高度对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大高度。本实用新型能够避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 装填 胎具 | ||
【主权项】:
一种石英埚的硅料装填胎具,其特征在于:包括圆管部(1)和圆锥管部(2),圆锥管部(2)位于圆管部(1)的上方,并且圆管部(1)和圆锥管部(2)同轴;圆管部(1)的内径d为所述的石英埚的外径D,并且圆管部(1)的内管壁与所述的石英埚的外埚壁形成间隙配合,圆管部(1)的高度h为所述的石英埚的高度H;圆锥管部(2)的下部与圆管部(1)的上部通过水平台(3)连接,水平台(3)的宽度δ为所述的石英埚的壁厚Δ;圆锥管部(2)的内壁位置对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大范围,圆锥管部(2)的高度对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大高度。
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