[实用新型]一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机

摘要

本实用新型涉及一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机没有防止抛光液飞溅的功能，这就容易导致抛光液四处飞溅，不仅容易溅入操作人员的眼睛，影响视力，而且影响车间的环境质量，存在不足。本实用新型涉及一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机，其中第二电机与第二主动带轮固定连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与弹簧罩固定连接，弹簧罩内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，抛光液箱通过液管与喷头连接。本装置采用卧式的结构，阻止抛光液飞溅，不仅确保人身安全，同时有利于提高车间环境质量。

主权项

一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、第一主动带轮（3）、第一传动带（4）、第一从动带轮（5）、抛光轮（6）、抛光齿（7）、第二电机（8）、第二主动带轮（9）、第二传动带（10）、第二从动带轮（11）、抛光液箱（12）、液管（13）、弹簧罩（14）、弹簧（15）、固定块（16）、喷头（17）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与第一主动带轮（3）固定连接，第一主动带轮（3）通过第一传动带（4）与第一从动带轮（5）连接，第一从动带轮（5）与抛光轮（6）固定连接，抛光轮（6）设有抛光齿（7），第二电机（8）与第二主动带轮（9）固定连接，第二主动带轮（9）通过第二传动带（10）与第二从动带轮（11）连接，第二从动带轮（11）与弹簧罩（14）固定连接，弹簧罩（14）内部设有弹簧（15），弹簧（15）与固定块（16）连接，抛光液箱（12）通过液管（13）与喷头（17）连接。