[实用新型]一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽有效
申请号: | 201620669506.6 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN205926460U | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 支秉旭 | 申请(专利权)人: | 江西大杰新能源技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;B65G47/74 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 335400 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽。当前,企业在对硅片进行超声波清洗时,均采用人工送料的方式,这种方式的生产效率低,而且长时间操作之后容易导致员工疲劳,存在安全隐患,存在不足。本实用新型涉及一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,其中电机与曲柄固定连接,曲柄通过连杆与齿轮连接,齿轮与翻滚杆连接,翻滚杆与固定块固定连接,超声波振子与槽体固定连接,齿条与支架固定连接。本装置采用翻滚式推进送料的方式,代替人工操作,避免人工长时间操作出现疲劳的现象,防止意外事故发生,杜绝安全隐患。 | ||
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【主权项】:
一种360°翻滚推进往复式硅片清洗槽,包括电机(1)、曲柄(2)、连杆(3)、齿轮(4)、翻滚杆(5)、固定块(6)、超声波振子(7)、槽体(8)、齿条(9)、支架(10);其特征在于:电机(1)与曲柄(2)固定连接,曲柄(2)通过连杆(3)与齿轮(4)连接,齿轮(4)与翻滚杆(5)连接,翻滚杆(5)与固定块(6)固定连接,超声波振子(7)与槽体(8)固定连接,齿条(9)与支架(10)固定连接。
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