[实用新型]微桥结构以及微测辐射热计有效

专利信息
申请号: 201620669579.5 申请日: 2016-06-29
公开(公告)号: CN205873891U 公开(公告)日: 2017-01-11
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: B81B3/00 分类号: B81B3/00;G01J5/20
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 代理人: 程殿军,张瑾
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型涉及辐射热计,提供一种微桥结构,包括衬底以及位于所述衬底上的桥腿层,所述桥腿层通过两根第一锚柱支撑于所述衬底上,还包括位于所述桥腿层正上方的桥面吸热层,所述桥面吸热层通过至少一根第二锚柱支撑于所述桥腿层上,所述桥面吸热层上开设有贯穿所述桥面吸热层的若干衍射窗口,各所述衍射窗口的尺寸小于光波的波长;还提供一种微测辐射热计,包括上述微桥结构。本实用新型的微桥结构中,桥腿层上设置有桥面吸热层,可以大大提高红外吸收率,且在桥面吸热层上还开设有若干衍射窗口,红外在各衍射窗口处产生衍射现象,进而可以缩短微桥结构对应的微测辐射热计的热响应时间。
搜索关键词: 结构 以及 辐射热
【主权项】:
一种微桥结构,包括衬底以及位于所述衬底上的桥腿层,所述桥腿层通过两根第一锚柱支撑于所述衬底上,其特征在于:还包括位于所述桥腿层正上方的桥面吸热层,所述桥面吸热层通过至少一根第二锚柱支撑于所述桥腿层上,所述桥面吸热层上开设有贯穿所述桥面吸热层的若干衍射窗口,各所述衍射窗口的尺寸小于光波的波长。
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