[实用新型]一种双面抛光硅片抛光机

摘要

本实用新型涉及一种双面抛光硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能，对一块硅片抛光时需要进行两次，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。本实用新型涉及一种双面抛光硅片抛光机，其中第一抛光轮设有第一抛光齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与第二抛光轮固定连接，第二抛光轮设有第二抛光齿，机体与支架固定连接，支架与固定块固定连接，抛光液箱通过液管与喷头连通。本装置采用双面抛光的方式，一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光，大大提高了抛光效率，降低生产成本。

主权项

一种双面抛光硅片抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、第一主动带轮（3）、第一传动带（4）、第一从动带轮（5）、第一抛光轮（6）、第一抛光齿（7）、抛光液箱（8）、液管（9）、喷头（10）、第二电机（11）、第二主动带轮（12）、第二传动带（13）、第二从动带轮（14）、第二抛光轮（15）、第二抛光齿（16）、支架（17）、固定块（18）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与第一主动带轮（3）同轴连接，第一主动带轮（3）通过第一传动带（4）与第一从动带轮（5）连接，第一从动带轮（5）与第一抛光轮（6）固定连接，第一抛光轮（6）设有第一抛光齿（7），第二电机（11）与第二主动带轮（12）同轴连接，第二主动带轮（12）通过第二传动带（13）与第二从动带轮（14）连接，第二从动带轮（14）与第二抛光轮（15）固定连接，第二抛光轮（15）设有第二抛光齿（16），机体（1）与支架（17）固定连接，支架（17）与固定块（18）固定连接，抛光液箱（8）通过液管（9）与喷头（10）连通。