[实用新型]具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置有效
| 申请号： | 201620672948.6 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205774789U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 龙汝磊;李刚正;吴萍;孙英会 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。本实用新型的优点是：能够精确控制膜厚，为镀膜工艺开发提供多种可选方案；结构简单合理，拆装方便，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 调节 角度 控制 探头 装置 | ||
【主权项】：
一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，所述装置至少包括膜厚控制探头，信号发生器，所述信号发生器与所述膜厚控制探头相连以实现信号发生，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。
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