[实用新型]一种半导体自动清洗干燥装置有效
| 申请号： | 201620674365.7 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205732097U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄菊英 | 申请（专利权）人： | 重庆三零三科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;F26B11/00;F26B25/06;F26B25/10;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 402560 重庆市铜梁*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体自动清洗干燥装置，包括：干燥槽体，所述干燥槽体底面外侧设置有废气排放口一、废气排放口二，所述干燥槽体一侧设置有清洗器皿，另一侧设置有氮气加热腔，所述清洗器皿垂直方向上设置有液压机构，所述液压机构上设置有伸缩杆，所述干燥槽体顶面设置有滑轨，所述滑轨中配合安装有自动槽盖，所述自动槽盖可在滑轨中自由滑动，所述自动槽盖一端通过伸缩杆与液压机构连接，所述干燥槽体内底面设置有安装座，所述安装座上设置有限位环。本实用新型结构简单、制造成本低廉、性能稳定、操作简单，特别适用于半导体制造工艺中的干燥处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 自动 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体自动清洗干燥装置，其特征在于，包括：干燥槽体，所述干燥槽体底面外侧设置有废气排放口一、废气排放口二，所述干燥槽体一侧设置有清洗器皿，另一侧设置有氮气加热腔，所述清洗器皿垂直方向上设置有液压机构，所述液压机构上设置有伸缩杆，所述干燥槽体顶面设置有滑轨，所述滑轨中配合安装有自动槽盖，所述自动槽盖可在滑轨中自由滑动，所述自动槽盖一端通过伸缩杆与液压机构连接，所述干燥槽体内底面设置有安装座，所述安装座上设置有限位环。
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