[实用新型]基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置有效
申请号: | 201620676155.1 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN205957920U | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 付鲁华;王祎雯;王仲;赵炎;文信 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人: | 杜文茹 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种用于基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置,包括有工作台和激光器,依次设置在激光器的激光光路上的接收靶和45°转向镜,依次设置有45°转向镜出射光路上的掩膜版和影像测量镜头,其中,所述的接收靶安装在所述工作台上并能够沿工作台移动,掩膜版和所述影像测量镜头安装在待测Z轴上,并能够沿所述待测Z轴移动。本实用新型针对坐标测量机中Z轴向,以工作台表面为基准,利用激光束直线度良好且光强稳定的特性,与五棱镜结合,为坐标测量机Z轴垂直度误差确立了一个理想的基准直线。在测量过程中,直接利用影像测量镜头的二维位置度判别能力,获取光斑位置进行误差评定,从而实现便捷、精准、快速地完成Z轴垂直度误差检定。 | ||
搜索关键词: | 基于 影像 测量 垂直 误差 装置 | ||
【主权项】:
一种基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置,其特征在于,包括有工作台(7)和激光器(1),依次设置在激光器(1)的激光光路上的接收靶(2)和45°转向镜(3),依次设置在45°转向镜(3)出射光路上的掩膜版(4)和影像测量镜头(5),其中,所述的接收靶(2)安装在所述工作台(7)上并能够沿工作台(7)移动,掩膜版(4)和所述影像测量镜头(5)安装在待测Z轴(6)上,并能够沿所述待测Z轴(6)移动。
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