[实用新型]一种凹柱面及柱面发散系统的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种凹柱面及柱面发散系统的装置，涉及光学仪器检测技术领域，特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的装置，本实用新型的技术方案分别使用柱面汇聚系统与柱面发散系统与待测凹柱面组合，通过干涉测量分别获得柱面发散系统和待测凹柱面的组合波面误差数据以及柱面汇聚系统和待测凹柱面的组合波面误差数据，然后通过干涉测量获得柱面发散系统与柱面汇聚系统组合波面误差数据，使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测凹柱面、柱面发散系统以及柱面汇聚系统的面形误差数据，本技术方案具有检测光路简单，不需要使用高精度的实现测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测，特别适合光学加工领域中的柱面加工。

主权项

一种凹柱面及柱面发散系统的检测装置，包括数字波面干涉仪(15)，计算机(16)，水平基板(11)，设置于水平基板(11)上的第一调整架(6)、第二调整架(7)、第三调整架(8)，固定在第二调整架(7)上的水平转台(10)，设置于第一调整架(6)上的柱面发散系统(3)，设置于转台(10)上的柱面汇聚系统(4)，装夹在第二调整架(7)上的待测凹柱面(1)与平面标准反射镜(5)，计算机与干涉仪之间由电缆连接；其特征在于：柱面发散系统(3)与柱面汇聚系统(4)以及平面标准反射镜(5)共光轴，构成第一组合测试区(9)；柱面发散系统(3)与待测凹柱面(1)共光轴，构成第二组合测试区(12)；柱面汇聚系统(4)与待测凹柱面(1)共光轴，构成第三组合测试区(13)；其中第一组合测试区(9)中柱面汇聚系统(4)放置于柱面发散系统(3)的后端且柱面汇聚系统(4)的焦线(2)位置与柱面发散系统(3)的虚焦线位置重合，柱面汇聚系统(4)用于将发散光线重新调制为平行光，平面标准反射镜(5)放置于柱面汇聚系统(4)的后端用于将平行光返回；其中第二组合测试区(12)中待测凹柱面(1)放置在柱面发散系统(3)的后端且待测凹柱面(1)的曲率中心线和平行光通过柱面发散系统(3)形成的虚焦线(2)位置重合；其中第三组合测试区(13)中待测凹柱面(1)放置于柱面汇聚系统(4)的后端且待测凹柱面(1)的曲率中心线和平行光通过柱面汇聚系统(4)形成的焦线(2)位置重合；第一组合测试区(9)中柱面汇聚系统(4)与第三组合测试区(13)的中柱面汇聚系统(4)沿其焦线方向的空间旋转角为180度，待测凹柱面(1)的曲率半径R大于柱面发散系统(3)的焦距f。