[实用新型]一种基于SOI的三轴电容式微加速度计有效
| 申请号： | 201620679970.3 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205720299U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 戴丽萍;宋文平;夏万顺;许龙来;王姝娅;钟志亲;张国俊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李春芳 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 基于SOI的三轴电容式微加速度计包括SOI基片、带阻尼孔的单一质量块、蛇形弹性梁、固定梳齿、与质量块相连的可动梳齿。使用SOI表面加工技术，使制造工艺能与普通的集成电路工艺兼容，降低成本。结构为中心对称图形，通过单一质量块感知三个正交方向的加速度，极大缩小了器件结构，增大了器件的集成度。通过Z轴方向上不等高垂直梳齿电极的设计，Z轴方向的线性度提高了至少10倍，同时工艺简单。每个轴向都由4组梳齿电极构成差分检测电容，消除交叉干扰并大大提高了灵敏度。4对中心对称的蛇形支撑梁，使加速度计有很大的量程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 soi 电容 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
一种基于SOI的三轴电容式微加速度计，其特征在于，包括SOI基片；质量块，设置有可动梳齿电极；六对固定锚点，安装于SOI基片，均设置有固定梳齿电极，其中四对中每两对固定锚点分别按X轴和Y轴呈轴对称分布，剩余两对固定锚点安装于质量块内，其固定梳齿电极通过可动梳齿电极与质量块匹配安装，可动梳齿电极和固定梳齿电极分别构成三轴向十二组相对于与空间坐标轴原点重合的质量块重心呈中心对称分布的差分检测电容；至少两个支撑锚点，每个支撑锚点通过两根弹性蛇形梁安装于质量块内。
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