[实用新型]石墨烯薄膜连续生长支撑结构有效
| 申请号： | 201620680003.9 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205856600U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/54 |
| 代理公司： | 青岛联信知识产权代理事务所37227 | 代理人： | 潘晋祥,王中云 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构，包括安装在加热真空腔室中的导轨，所述导轨安装在加热真空腔室内壁相对设置的支承座之间，所述导轨与对应加热真空腔室内壁之间设置有流通间隙，所述支承座设置有流通通道，所述流通通道一端与流通间隙相连，另一端位于导轨下方。石墨烯薄膜连续生长支撑结构通过导轨支撑生长石墨烯的衬底材料，能够减轻衬底材料在移动过程中发生振动，保证其能够充分与反应气体接触，提高石墨烯的生长质量。导轨将加热真空腔室分割成上下两部分，通过流通间隙和流通通道，使上下两部分气流流通，热量能够充分流动，使整个加热真空腔室内的温度均匀，衬底材料受热均匀，保证石墨烯的生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 薄膜 连续 生长 支撑 结构 | ||
【主权项】：
一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构，其特征在于，包括安装在加热真空腔室(1)中的导轨(2)，所述导轨(2)安装在加热真空腔室(1)内壁相对设置的支承座(3)之间，所述导轨(2)与对应加热真空腔室(1)内壁之间设置有流通间隙(4)，所述支承座(3)设置有流通通道(5)，所述流通通道(5)一端与流通间隙相连，另一端位于导轨(2)下方。
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