[实用新型]卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备有效
| 申请号： | 201620680005.8 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205856601U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/54 |
| 代理公司： | 青岛联信知识产权代理事务所37227 | 代理人： | 潘晋祥,王中云 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备，包括置料真空腔室、加热真空腔室、和加热装置，所述置料真空腔室设置有两个，所述加热真空腔室位于加热装置内，两端伸出并与对应的置料真空腔室设置的连通口相连通，所述置料真空腔室内安装有置料辊和输送辅助装置，所述输送辅助装置位于对应置料辊内侧，并与连通口对齐，所述输送辅助装置为上下相对设置并且相互啮合的两个压辊。卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备将位于一端的置料真空腔室的铜箔通过加热真空腔室输送到另一端的置料真空腔室中，期间通过加热和反应气体，在铜箔上生长石墨烯薄膜，无须射频等离子体发生器，节能安全。输送辅助装置从两端将铜箔固定，使其不会受到对应置料辊上铜箔粗细的影响，使加热真空腔室内的铜箔始终保持水平，保证其与反应气体充分接触，提高石墨烯生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 薄膜 连续 生长 设备 | ||
【主权项】：
一种卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备，其特征在于，包括置料真空腔室(1)、加热真空腔室(2)、和加热装置(3)，所述置料真空腔室(1)设置有两个，所述加热真空腔室(2)位于加热装置(3)内，两端伸出并与对应的置料真空腔室(1)设置的连通口(2‑1)相连通，所述置料真空腔室(1)内安装有置料辊(1‑1)和输送辅助装置(1‑2)，所述输送辅助装置(1‑2)位于对应置料辊(1‑1)内侧，并与连通口(2‑1)对齐，所述输送辅助装置(1‑2)为上下相对设置并且相互啮合的两个压辊，一个置料真空腔室(1)连接有抽真空装置(4)。
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