[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 201620681665.8 | 申请日: | 2016-07-01 |
公开(公告)号: | CN205845917U | 公开(公告)日: | 2016-12-28 |
发明(设计)人: | 宋贤 | 申请(专利权)人: | 苏州市富同石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种石英舟,包括侧板、设置侧板之间的上支撑杆和下支撑杆,侧板上设有V形滑槽,即V形滑槽中部为最低点,上支撑杆和下支撑板两端均穿过V形滑槽,上支撑杆和下支撑杆端部均套有沿上支撑杆或下支撑杆滑动的夹块,夹块包括与侧板内侧贴合的内夹块、与侧板外侧贴合的外夹块,上支撑杆上沿上支撑杆轴线方向均匀分布有环形挡片,即环形挡片之间设有上卡槽,下支撑杆顶部设有下卡槽。本实用新型利用内夹块、外夹块以及V形槽增加硅片插入后的上支撑杆的稳定性,防止硅片脱落,环形挡片适合不同规格以及不同形状的硅片插入。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
【主权项】:
一种石英舟,包括侧板、设置侧板之间的上支撑杆和下支撑杆,其特征在于,所述侧板上设有V形滑槽,即所述V形滑槽中部为最低点,所述上支撑杆和所述下支撑板两端均穿过所述V形滑槽,所述上支撑杆和所述下支撑杆端部均套有沿所述上支撑杆或所述下支撑杆滑动的夹块,所述夹块包括与所述侧板内侧贴合的内夹块、与所述侧板外侧贴合的外夹块,所述上支撑杆上沿所述上支撑杆轴线方向均匀分布有环形挡片,即所述环形挡片之间设有上卡槽,所述下支撑杆顶部设有下卡槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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