[实用新型]一种大跨距石英舟有效
申请号: | 201620681672.8 | 申请日: | 2016-07-01 |
公开(公告)号: | CN205845918U | 公开(公告)日: | 2016-12-28 |
发明(设计)人: | 宋贤 | 申请(专利权)人: | 苏州市富同石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种大跨距石英舟,包括上槽棒、位于上槽棒下方的下槽板,设置在上槽棒两端的端板,端板背离上槽棒一侧设有顶杆,上槽棒位于端板顶面两侧,下槽板位于端板中下方,上槽棒中部设有与下槽板连接的支撑杆,上槽棒截面为L形,上槽棒一侧设有上槽口,下槽板截面为长方形且下槽板截面高度比下槽板截面宽度大,下槽板顶面设有下槽口。本实用新型通过支撑杆对上槽棒和下槽板中部进行加强,提升石英舟的整体强度;上槽棒截面为L形,下槽板截面长方形使得上槽棒和下槽板强度高重量轻,上槽口轴线与上槽棒轴线夹角为87°,下槽口的开口轴线与下槽板轴线夹角为87°,便于改变上槽棒和下槽板的承载力且防止所载石墨片晃动。 | ||
搜索关键词: | 一种 跨距 石英 | ||
【主权项】:
一种大跨距石英舟,包括上槽棒、位于所述上槽棒下方的下槽板,设置在所述上槽棒两端的端板,所述端板背离上槽棒一侧设有顶杆,其特征在于,所述上槽棒位于所述端板顶面两侧,所述下槽板位于所述端板中下方,所述上槽棒中部设有与所述下槽板连接的支撑杆,所述上槽棒截面为L形,所述上槽棒一侧设有上槽口,所述下槽板截面为长方形且下槽板截面高度比所述下槽板截面宽度大,所述下槽板顶面设有下槽口,所述上槽口轴线与所述上槽棒轴线夹角为87°,所述下槽口的开口轴线与所述下槽板轴线夹角为87°。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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