[实用新型]微机电麦克风和电子系统有效
| 申请号： | 201620683682.5 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205912258U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | R·布廖斯基 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司;意法半导体（马耳他）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华,张宁 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及微机电麦克风和用于制造微机电麦克风的方法。微机电麦克风包括支撑衬底，具有第一面和第二面；传感器芯片，接合至支撑衬底的第一面并且集成了微机电电声换能器；以及控制芯片，可操作地耦合至传感器芯片，控制芯片的至少一部分包括在支撑衬底的第一面和第二面之间。传感器芯片至少部分地设置在控制芯片的顶部上。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 麦克风 电子 系统 | ||
【主权项】：
一种微机电麦克风，其特征在于，包括：支撑衬底(2；402；502；602；702；806)，具有第一面(2a；402a)和第二面(2b；502b)；传感器芯片(5；305；505；805)，接合至所述支撑衬底(2；402；502；602；702；806)的第一面(2a；402a)并且集成了微机电电声换能器(35；835)；以及控制芯片(6；106；206；306；406；506；606；806)，具有在所述支撑衬底(2；402；702)的第一面(2a；402a)和第二面(2b；502b)之间的至少一个部分，并且可操作地耦合至所述传感器芯片(5；305；505；805)；传感器芯片(5；105)，至少部分地设置在所述控制芯片(6；106)的顶部上。
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