[实用新型]一种氮化铝单晶生长的提拉装置有效
| 申请号： | 201620685348.3 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205821523U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 程章勇 | 申请（专利权）人： | 北京华进创威电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B15/30 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司11003 | 代理人： | 马知非;沈耀冲 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化铝单晶生长的提拉装置，该提拉装置包括拉提组件、碳化钽坩埚、发热筒和保温层；拉提组件由拉提绳、拉提杆和升降石墨筒构成，拉提绳的一端与中频感应炉上的提拉升降系统相连接，另一端与拉提杆的一端连接，拉提杆的另一端与升降石墨筒的上盖连接；碳化钽坩埚固定在升降石墨筒内；升降石墨筒设置在发热筒内，保温层包裹在发热筒的外侧。本申请还公开了一种氮化铝单晶生长的提拉方法。本申请的提拉装置可有效解决生长氮化铝晶体常用碳化钽坩埚不易实现上下移动的弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 铝单晶 生长 装置 | ||
【主权项】：
一种氮化铝单晶生长的提拉装置，其特征在于，所述提拉装置包括拉提组件、碳化钽坩埚、发热筒和保温层；其中，所述拉提组件由拉提绳、拉提杆和升降石墨筒构成，所述拉提绳的一端与中频感应炉上的提拉升降系统相连接，另一端与所述拉提杆的一端连接，拉提杆的另一端与所述升降石墨筒的上盖连接；所述碳化钽坩埚固定在所述升降石墨筒内；所述升降石墨筒设置在所述发热筒内，所述保温层包裹在所述发热筒的外侧。
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