[实用新型]真空镀膜系统用的快速抽真空机组有效
| 申请号： | 201620688639.8 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205907355U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 谢静娜,裘晖 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空镀膜系统用的快速抽真空机组，包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。本快速抽真空机组是在传统真空镀膜系统的抽真空机组结构上进行改进的，其结构简单，改造成本低，但对于粗抽室的抽真空需求来说，具有较好的抽真空效果，同时可实现快速抽真空，缩短抽真空的循环周期，进一步缩短工件镀膜周期，本真空镀膜系统用的快速抽真空机组在试验中，相比传统抽真空机组，其抽真空的循环周期缩短了5～10秒，有效提高了镀膜系统的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 系统 快速 真空机组 | ||
【主权项】：
真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。
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