[实用新型]气体处理装置有效
| 申请号： | 201620692353.7 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN205750484U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 赵旭良;季文明;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05;B01D53/78;B01D53/68;B01D53/72 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气体处理装置，通过所述气体处理装置实现一工艺腔体中的气体的排出，所述气体处理装置包括：一抽气单元、一压力检测单元以及一控制单元。其中，所述压力检测单元用于实时检测工艺腔体中的气体压强，所述控制单元可根据检测结构对工艺腔体的抽气强度进行调整。即，本实用新型提供的气体处理装置中，通过远程自动化控制以对工艺腔体的抽气强度进行调整，其相对于手动调整不但可大大节省人力，并且还具有更高的调节精度，从而可进一步保障工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种气体处理装置，所述气体处理装置用于实现一工艺腔体中的气体的排出，其特征在于，所述气体处理装置包括：一抽气单元、一检测所述工艺腔体中的气体压强的压力检测单元以及一控制单元，其中，所述抽气单元与所述工艺腔体连接；所述压力检测单元与所述控制单元信号连接，并将检测结果发送至所述控制单元；所述控制单元与所述抽气单元信号连接，并根据接收到的检测结果调整对所述工艺腔体的抽气强度。
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