[实用新型]一种用于光调制器制造的硅片热氧化辅助装置有效
| 申请号： | 201620692989.1 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205752120U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 华平壤;姜城 | 申请（专利权）人： | 派尼尔科技（天津）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/316 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区开发*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于光调制器制造的硅片热氧化辅助装置，包括高压管头、主横杆、把手、指针A、刻度圈A、支撑杆、操作台、喷气头、电加热器、支撑管、转动横杆、嵌入套、进气管、指针B、刻度圈B和转动立杆，主横杆固定安装在转动立杆上，转动横杆的右端安装在主横杆的左端，支撑管通过嵌入套安装在转动横杆上，电加热器安装在支撑管的下端，进气管自上往下依次穿过支撑管和电加热器且其下端与喷气头相连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 调制器 制造 硅片 氧化 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光调制器制造的硅片热氧化辅助装置，其特征在于：包括高压管头、主横杆、把手、指针A、刻度圈A、支撑杆、操作台、喷气头、电加热器、支撑管、转动横杆、嵌入套、进气管、指针B、刻度圈B和转动立杆，所述主横杆固定安装在所述转动立杆上，所述转动横杆的右端安装在所述主横杆的左端，所述支撑管通过所述嵌入套安装在所述转动横杆上，所述电加热器安装在所述支撑管的下端，所述进气管自上往下依次穿过所述支撑管和所述电加热器且其下端与所述喷气头相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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