[实用新型]氦氮混合比例检测装置有效
| 申请号： | 201620693622.1 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN205826630U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 林琦武;马玉炳;丁鹏;麻晓毅;杨丰源 | 申请（专利权）人： | 广州新龙浩工业设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司44100 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 511434 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了氦氮混合比例检测装置，其特征在于：包括混合气体输入端、质量流量控制器、过滤器、压力开关、排气阀、减压阀、电磁阀、稳压阀和检测管道；所述混合气体输入端依次与所述过滤器、压力开关、减压阀、电磁阀和稳压阀连接；所述稳压阀的输出端通过所述检测管道连接至所述质量流量控制器。本实用新型结构简单，通过过滤和稳压等步骤将氦氮混合气体由质量流量控制器检测，再通过电子控制程序，实现全自动化，大大地提升了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 比例 检测 装置 | ||
【主权项】：
氦氮混合比例检测装置，其特征在于：包括混合气体输入端、质量流量控制器、过滤器、压力开关、排气阀、减压阀、电磁阀、稳压阀和检测管道；所述混合气体输入端依次与所述过滤器、压力开关、减压阀、电磁阀和稳压阀连接；所述稳压阀的输出端通过所述检测管道连接至所述质量流量控制器。
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