[实用新型]一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置

摘要

一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，属于热丝化学气相沉积技术领域。圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。本实用新型可以解决热丝化学气相沉积设备沉积腔室中反应气体分布不均匀的问题，同时也不易产生粉尘、颗粒掉落到沉积基体表面。

主权项

一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。