[实用新型]一种三氟化氮泄漏浓度检测装置有效
申请号: | 201620708445.X | 申请日: | 2016-07-07 |
公开(公告)号: | CN205749469U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 周爱芬 | 申请(专利权)人: | 洛阳高昌机电科技有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 河南广文律师事务所 41124 | 代理人: | 李宗虎 |
地址: | 471000 河南省洛阳市高*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,包括喷头,所述喷头包括主体,所述主体内部开有中心通道和弧形通道,且中心通道和弧形通道连通,所述中心通道和弧形通道内腔表面粘附催化剂层,所述主体内部加装加热杆,且主体外侧加装温度检测装置,所述喷头外侧加装催化剂支架,且喷头左端通过导管与进气管连接,所述催化剂支架通过壳体的内部支架固定安装在反应腔,所述反应腔右端固定安装渗透膜,所述渗透膜右侧壳体内部为检测腔,所述检测腔内部加装三氟化氮浓度检测装置,所述检测腔右侧通过尾管与尾气处理装置连接,该实用新型装置较以往装置具有预热时间短,检测结果准确性高,灵敏度高等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 氟化 泄漏 浓度 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,包括喷头(1),其特征在于:所述喷头(1)包括主体(101),所述主体(101)内部开有中心通道(105)和弧形通道(102),且中心通道(105)和弧形通道(102)连通,所述中心通道(105)和弧形通道(102)内腔表面粘附催化剂层(103),所述主体(101)内部加装加热杆(104),且主体(101)外侧加装温度检测装置(106),所述喷头(1)外侧加装催化剂支架(2),且喷头(1)左端通过导管与进气管(6)连接,所述催化剂支架(2)通过壳体(4)的内部支架固定安装在反应腔(10),所述反应腔(10)右端固定安装渗透膜(3),所述渗透膜(3)右侧壳体(4)内部为检测腔(11),所述检测腔(11)内部加装三氟化氮浓度检测装置(9),所述检测腔(11)右侧通过尾管(12)与尾气处理装置(5)连接。
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