[实用新型]在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，包括电机、旋转多孔进源器、反应腔、加热器、进气管路和抽气管路，旋转多孔进源器为由空心轴和桨叶构成，空心轴两端为密封的，侧壁上设有气孔，桨叶螺旋固定在空心轴上，桨叶上设有与空心轴连通的微孔；旋转多孔进源器架设在反应腔内，上端与电机轴连接，进气管路与空心轴连通，抽气管路与反应腔连通；加热器包覆反应腔外壁上。能有效解决因粉末存在刚性接触点及粉末团聚而不能在其表面均匀镀膜的问题，同时通过分布在旋转流化叶片上的大量微纳米气孔向整个粉末内部均匀注入反应气体和清洗气体，有效缩短了反应时间，提高镀膜效率。

主权项

一种在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：包括电机、旋转多孔进源器、反应腔、加热器、进气管路和抽气管路，旋转多孔进源器为由空心轴和桨叶构成，空心轴两端为密封的，侧壁上设有气孔，桨叶螺旋固定在空心轴上，桨叶上设有与空心轴连通的微孔；旋转多孔进源器架设在反应腔内，上端与电机轴连接，进气管路与空心轴连通，抽气管路与反应腔连通；加热器包覆反应腔外壁上。