[实用新型]狭缝式涂布装置及该装置用基板异物检测用异物感测装置有效
| 申请号： | 201620712900.3 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN205833395U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 赵康一 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/04 | 分类号： | B05B1/04;B05B13/02;B05B15/00;G01V9/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种狭缝式涂布装置及该装置用基板异物检测用异物感测装置。本实用新型的异物感测装置可以被安装到狭缝式涂布装置，有效地感测贴附于基板的上部或下部表面的异物，从而防止狭缝式喷嘴肋部由于碰撞而被破损或受损。为此，异物感测装置具备：传感器板，从狭缝式喷嘴隔离而与狭缝式喷嘴平行地布置于涂布进行方向的前侧；传感器，配备于传感器板上，根据涂布的进行而感测与位于基板的上部或下部的异物的碰撞。作为传感器，例如，优选地使用用于感测发生在传感器板的应力的应变仪等。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 式涂布 装置 用基板 异物 检测 | ||
【主权项】：
一种狭缝式涂布装置，其特征在于，具备：基板载放台，用于放置基板；狭缝式喷嘴，对放置在所述基板载放台的基板的表面涂布液态化学品；传感器板，与狭缝式喷嘴平行地布置于所述狭缝式喷嘴的涂布进行方向的前端；以及传感器，配备于传感器板上，感测随着涂布的进行而发生的位于基板的上部或下部的异物与所述传感器板之间的碰撞。
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