[实用新型]定位安装装置有效
| 申请号： | 201620713851.5 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN205810757U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 戴一然 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种定位安装装置，所述定位安装装置包括：环形安装主体，所述环形安装主体内设有安装通孔，所述安装通孔与所述安装孔对应设置；定位凸部，位于环形安装主体的底部，与所述接地线槽对应设置；多个导向轮组件，一端固定于所述环形安装主体内侧，所述导向轮组件非固定端之间的区域的形状及尺寸与所述变压器电容等离子体的形状及尺寸相同。本实用新型的定位安装装置可以通过定位将变压器电容等离子体精确地安装到中间腔体部件上，安装方便、安装成功率高、且安装精确度高，可以有效地避免反应腔体出现漏率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 安装 装置 | ||
【主权项】：
一种定位安装装置，适于变压器电容等离子体在中间腔体部件上的安装，所述中间腔体部件表面设有接地线槽及安装孔，其特征在于，所述定位安装装置包括：环形安装主体，所述环形安装主体内设有安装通孔，所述安装通孔与所述安装孔对应设置；定位凸部，位于环形安装主体的底部，与所述接地线槽对应设置；多个导向轮组件，一端固定于所述环形安装主体内侧，所述导向轮组件非固定端之间的区域的形状及尺寸与所述变压器电容等离子体的形状及尺寸相同。
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