[实用新型]一种密封容器的真空密封性能测量装置有效
| 申请号： | 201620713855.3 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN205826251U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴晓斌;张罗莎;王魁波;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇;崔惠绒 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32;G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司11042 | 代理人： | 付晓青;杨玉荣 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种密封容器的真空密封性能测量装置，该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(10)、真空规(11)、四极质谱计(12)、测量室(13)。其中第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、真空规(11)、四极质谱计(12)分别各自连接到测量室(13)，限流小孔(7)的一端通过角阀(6)连接到测量室(13)，限流小孔(7)的另一端连接到分子泵组(8)和插板阀(10)之间，第一干式机械泵(9)通过分子泵组(8)借由插板阀(10)连接到测量室(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 容器 真空 性能 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种密封容器的真空密封性能测量装置，包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(10)、真空规(11)、四极质谱计(12)、测量室(13)，其中第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、真空规(11)、四极质谱计(12)分别各自连接到测量室(13)，限流小孔(7)的一端通过角阀(6)连接到测量室(13)，限流小孔(7)的另一端连接到分子泵组(8)和插板阀(10)之间，第一干式机械泵(9)通过分子泵组(8)借由插板阀(10)连接到测量室(13)。
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