[实用新型]一种芯片的超声波清洗设备有效

专利信息
申请号: 201620718654.2 申请日: 2016-07-08
公开(公告)号: CN205984908U 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 冯艳;高杰;王广武;李振东;刘杰锋;贺先要 申请(专利权)人: 长沙韶光半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 长沙市标致专利代理事务所(普通合伙)43218 代理人: 徐邵华
地址: 410129 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型涉及清洗设备技术领域,具体涉及一种芯片的超声波清洗设备,包括外壳、以及设置在所述外壳顶部的盖板,所述外壳内设置有水槽,所述外壳与水槽一体成型,所述外壳与水槽之间形成密封腔体,所述密封腔体内设置有清洗控制装置,所述清洗控制装置包括中央处理器、超声波清洗模块、自动恒温控制模块、定时模块和热风烘干模块,所述中央处理器分别与所述超声波清洗模块、自动恒温控制模块、定时模块和热风烘干模块连接;所述外壳前侧表面分别设有触控屏和控制按钮,所述触控屏与所述清洗控制装置电连接;本实用新型通过增加了烘干和定时清洗功能,使其清洗更加方便,且采用触控屏进行操作,具有操作简单,自动化控制等优点。
搜索关键词: 一种 芯片 超声波 清洗 设备
【主权项】:
一种芯片的超声波清洗设备,包括外壳(1)、以及设置在所述外壳(1)顶部的盖板(2),其特征在于,所述外壳(1)内设置有水槽(3),所述外壳(1)与水槽(3)一体成型,所述外壳(1)与水槽(3)之间形成密封腔体(4),所述密封腔体(4)内设置有清洗控制装置,所述清洗控制装置包括中央处理器(5)、超声波清洗模块(6)、自动恒温控制模块(7)、定时模块(8)和热风烘干模块(9),所述中央处理器(5)分别与所述超声波清洗模块(6)、自动恒温控制模块(7)、定时模块(8)和热风烘干模块(9)连接;所述外壳(1)前侧表面分别设有触控屏(10)和控制按钮(11),所述触控屏(10)与所述清洗控制装置电连接。
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