[实用新型]以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片有效
| 申请号： | 201620721670.7 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN205899055U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 于天燕;成效春;蒋林;刘定权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，该保护片以Ta2O5和SiO2为高低折射率材料，入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层，获得满足要求的设计结果；背面设计了宽光谱减反射膜，以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480‑700nm波段的中性分光，同时对400‑440nm、800‑1100nm的宽光谱波段实现高透射。本专利VNIR狭缝保护片性能稳定，适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 基底 可见光 红外 波段 狭缝 保护 | ||
【主权项】：
一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，所述的保护片对480‑700nm波段的中性分光，同时对400‑440nm、800‑1100nm的宽光谱波段实现高透，它的结构为:在蓝宝石基底(2)的入射面上有光谱选择与能量调控多层膜(1)、在蓝宝石基底(2)的背面有宽光谱减反射膜(3)，其特征在于：所述的光谱选择与能量调控多层膜(1)的膜系结构为：基底/3.069H1.805L.293H1.316L(.293L.993H.824L)2 2.874H 1.505L/空气所述的宽光谱减反射膜(3)的膜系结构为：基底/.489H.233L.984H.295L.497H 1.249L/空气式中：L表示光学厚度为λ0/4的SiO2膜层；H表示光学厚度为λ0/4的Ta2O5膜层；λ0为中心波长；H、L前的数字为λ0/4光学厚度的比例系数乘数；指数2表示膜堆周期数。
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