[实用新型]一种高压比复合分子泵

摘要

本实用新型提供了一种高压比复合分子泵，所述复合分子泵的压比量级为1010~1011，包括涡轮段和牵引段，涡轮段由动叶轮和静叶片组成，实现大抽速，牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比，本实用新型的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能，即在动叶轮组件上装配了牵引盘，在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘，增加的两级牵引功能，可以有效提高分子泵的压比，降低真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。

主权项

一种高压比复合分子泵，其特征在于，包括内磁环（1）、泵壳（2）、球轴承组件（3）、底座组件（4）、外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）、动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、芯轴（12）、牵引鼓筒（13）、永磁电机转子（14）；其连接关系是，所述的泵壳（2）与底座组件（4）沿底座组件（4）的圆周固定，球轴承组件（3）放置在泵壳（2）中心的空腔中，与底座组件（4）圆周固定，泵壳（2）中心安装有芯轴（12）；所述的外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）从下至上依次与芯轴（12）同轴安装在泵壳（2）中心的空腔中，在泵壳（2）的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、牵引鼓筒（13）依次过盈装配在芯轴（12）上，永磁电机转子（14）粘接在芯轴（12）上；所述的芯轴（12）的下端支承固定于球轴承组件（3），芯轴（12）的上端由泵壳（2）顶端的内磁环（1）、外磁环（10）构成的永磁轴承支承，内磁环（1）安装在泵壳（2）的上端，外磁环（10）安装在动叶轮（9）的内孔腔；所述的牵引槽盘（6）的上表面刻有上牵引槽（601），下表面刻有下牵引槽（602），上牵引槽（601）的外径小于下牵引槽（602）的外径。