[实用新型]承载治具

摘要

本实用新型公开一种承载治具，其是用于等离子体除胶系统。承载治具包括承载板、第一止挡件、第二止挡件、锁固件以及弹性件。承载板具有相对的上表面与下表面以及贯穿上表面及下表面的第一贯孔。第一止挡件可移动地配置于上表面上，并且具有第二贯孔。第二止挡件配置于下表面上，并且具有第三贯孔。锁固件贯穿第一贯孔、第二贯孔以及第三贯孔。弹性件套设于锁固件并且承顶于锁固件与第一止挡件之间。第一止挡件与第二止挡件之间适于夹持承载板及容置于其中的基板。

主权项

一种承载治具，适用于一等离子体除胶系统，其特征在于，该承载治具包括：承载板，具有相对的上表面与下表面以及贯穿该上表面及该下表面的第一贯孔；第一止挡件，可移动地配置于该上表面上，并且具有第二贯孔；第二止挡件，配置于该下表面上，并且具有第三贯孔；锁固件，贯穿该第一贯孔、该第二贯孔以及该第三贯孔；以及弹性件，套设于该锁固件，并且承顶于部分的该锁固件与该第一止挡件之间，其中该第一止挡件与该第二止挡件之间适于夹持该承载板及容置于其中的一基板。