[实用新型]自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉有效
| 申请号： | 201620724558.9 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN205821514U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 赵岩;张建玉;王庆国;刘建兴;王文;董建树;韩建峰;庄大伟;罗平;徐军 | 申请（专利权）人： | 上海国晶和泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司31128 | 代理人： | 严新德 |
| 地址： | 201808 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉，包括：炉体，在所述炉体上设有氩气进气口；氩气管路，所述氩气管路的一端与所述氩气进气口连接，所述氩气管路与所述炉体连通；真空管路，所述真空管路连接在所述炉体的底部；真空压力计，所述真空压力计连接在所述炉体的顶部。本实用新型自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉在炉体上增加氩气进气口、氩气质量流量计、氩气开关阀、氩气管路、真空压力计和在真空管路上增加电动蝶阀，设定氩气的进气量，通过真空压力计监测反馈数据与设定压力的比较来控制真空管路上电动蝶阀开闭角度的大小来实现压力的恒定控制。 | ||
| 搜索关键词： | 自动控制 流量 蓝宝石 导膜炉 | ||
【主权项】：
一种自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉，其特征在于，包括：炉体，在所述炉体上设有氩气进气口；氩气管路，所述氩气管路的一端与所述氩气进气口连接，所述氩气管路与所述炉体连通；真空管路，所述真空管路连接在所述炉体的底部；真空压力计，所述真空压力计连接在所述炉体的顶部，在所述氩气管路上设有氩气开关阀，在所述氩气管路上设有氩气质量流量计，在所述真空管路上设有电动蝶阀。
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