[实用新型]一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置有效
| 申请号： | 201620725357.0 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN206022302U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 马成国;亓淑艳 | 申请（专利权）人： | 马成国 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150040 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种保护装置，尤其是一种扫描电镜背散射电子接收器使用的保护装置。它的组成包括弹性支架，所述的弹性支架的一端采用销钉固定安装在扫描电镜的主体结构上，另一端固定连接保护网，所述的弹性支架经过多次缠绕形成弹簧结构，用来缓冲被测物体的运动余量，所述的保护网安装在背散射电子接收器的正下方，所述的保护网包括V形保护结构，用来保护背散射电子接收器，电子束发射孔在水平面上的垂直投影应全部包含在V形保护结构的V形区域里，所述的V形保护结构不能遮挡电子束发射孔。本实用新型设计合理，结构简单，便于操作安装和更换，保护网结构可以有效避免扫描电镜的背散射电子接收器被不规则被测体碰坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 散射 电子 接收器 保护装置 | ||
【主权项】：
一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置，其特征在于，其组成包括弹性支架，所述的弹性支架的一端采用销钉固定安装在扫描电镜的主体结构上，另一端固定连接保护网，所述的弹性支架经过多次缠绕形成弹簧结构，用来缓冲被测物体的运动余量，所述的保护网安装在背散射电子接收器的正下方，所述的保护网包括V形保护结构，用来保护背散射电子接收器，电子束发射孔在水平面上的垂直投影应全部包含在V形保护结构的V形区域里，所述的V形保护结构不能遮挡电子束发射孔，同时应尽可能减少对背散射电子的干扰。
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